產(chǎn)品目錄
-
工業(yè)器材
- 日本ENDO遠(yuǎn)藤
- 日本azbi山武
- 日本KOSMEK考世美
- 日本BL必愛路
- 日本SGK昭和技研
- 日本JST日壓
- 日本Nidec尼得科
- 日本SANKO三高
- NS日本科學(xué)
- 日本TOKI東機(jī)產(chǎn)業(yè)
- 日本ITOH伊藤制作所
- 日本DRY-CABI東利...
- 日本REVOX來寶克斯
- 臺灣CHELIC氣立可
- 日本NPM日脈
- SEN日森
- 日本HORIBA堀場
- 日本NITTO-KOHK
- 日本NBK鍋屋
- 日本NMR
- 日本EYE巖崎
- 日本MUSASHI武藏
- 日本DENSO
- 日本SURE石崎電機(jī)制作...
- 日本KURITA栗田
-
日本SAKAGUCHI坂...
- 離心攪拌器
- 遠(yuǎn)紅外線加熱管
- 筒式加熱器
- 泊片加熱器
- 橡膠加專線
- 絕緣臺礙子
- 橡膠加熱器
- 熱風(fēng)機(jī)
- 熱風(fēng)槍
- 噴嘴式加熱器
- 加熱板
- 硅膠線加熱器
- 加熱管道
- 包覆式加熱器
- 遠(yuǎn)紅外陶瓷加熱板
- 石英加熱管
- 水加熱器
- 氮化鋁加熱器
- 法蘭加熱器
- 氮化硅加熱器
- 微型陶瓷加熱片
- 加熱圈
- 柔性加熱器
- 空間加熱器
- 電熱爐管道
- 絕緣端子
- 耐熱膠帶
- 導(dǎo)熱泥
- 耐高溫手套
- 高溫發(fā)生器
- 高溫加熱板
- 帕爾貼
- 單端加熱棒
- 包覆式加專線
- 硅海綿
- 耐熱電熱
- 照射式電暖爐
- 高溫模加熱器
- 瓷器加熱器
- 連接器
- 溫度傳感器/熱電偶
- 自動溫度調(diào)節(jié)器
- 溫度控制器
- 恒溫器
- 日本HAKKO八光
- 日本IZUMI 泉精器製...
- 日本IMAO今尾
- 日本JUST
- 日本SUNX神視
- 日本METROL美德龍
- 日本Meiki
- 日本YAMARI山里
- 日本OKAZAKI 岡崎
- 日本TANIGUCHI谷...
- 日本NPM
- 日本EYELA東京理化
- DNK大日本科研
- 日本YOKOHAMA橫濱
- 日本EINS
- 日本ACCRETECH東...
- 環(huán)境設(shè)備
- 測量儀器
- SMT設(shè)備
- 物料運(yùn)輸
- 切削工具
- 化學(xué)用品
- 作業(yè)工具
新聞詳情
電商MRO供應(yīng)鏈德國optrisc歐普士單體紅外測溫儀CSmicro徹底清洗晶圓和去除殘留光刻膠的重要性
日期：2025-05-10 18:09
瀏覽次數(shù)：23
摘要：徹底清洗晶圓和去除殘留光刻膠的重要性
光學(xué)光刻是用于制造集成電路的一種工藝。首先，將一種感光材料（稱為光刻膠）涂到基板上。然后將包含所需圖案的光掩模放置在光刻膠上方，光線穿過光掩模，暴露光刻膠的特定區(qū)域。這些暴露的區(qū)域會發(fā)生化學(xué)變化，在顯影液中可溶或不溶。顯影后，圖案通過蝕刻、化學(xué)氣相沉積或離子注入轉(zhuǎn)移到基板上。
一旦結(jié)構(gòu)被蝕刻或沉積在晶圓上，去除光刻膠并徹底清潔晶圓至關(guān)重要。此清潔過程通常分為三個不同的階段。首先，剝離光刻膠。隨后，使用專門的化學(xué)清潔方法消除晶圓表面上的任何殘留物。*后，對表面...
徹底清洗晶圓和去除殘留光刻膠的重要性
光學(xué)光刻是用于制造集成電路的一種工藝。首先，將一種感光材料（稱為光刻膠）涂到基板上。然后將包含所需圖案的光掩模放置在光刻膠上方，光線穿過光掩模，暴露光刻膠的特定區(qū)域。這些暴露的區(qū)域會發(fā)生化學(xué)變化，在顯影液中可溶或不溶。顯影后，圖案通過蝕刻、化學(xué)氣相沉積或離子注入轉(zhuǎn)移到基板上。
一旦結(jié)構(gòu)被蝕刻或沉積在晶圓上，去除光刻膠并徹底清潔晶圓至關(guān)重要。此清潔過程通常分為三個不同的階段。首先，剝離光刻膠。隨后，使用專門的化學(xué)清潔方法消除晶圓表面上的任何殘留物。*后，對表面進(jìn)行細(xì)致的清潔和鈍化，為后續(xù)處理步驟做好準(zhǔn)備。
如果晶圓在后續(xù)光刻工藝之前仍含有光刻膠，則可能會出現(xiàn)幾個問題。殘留的光刻膠會導(dǎo)致后續(xù)光刻步驟中圖案轉(zhuǎn)移不準(zhǔn)確，從而導(dǎo)致晶圓上的電路或特征出現(xiàn)缺陷。不干凈的晶圓會引入污染物，干擾材料沉積、蝕刻工藝或其他制造步驟，可能導(dǎo)致設(shè)備性能不佳或故障。此外，受污染或清潔不當(dāng)?shù)木A會增加缺陷率，降低生產(chǎn)批次中1功能集成電路的總產(chǎn)量。
需要一種成像方法來檢測清潔過程中 API 薄膜的殘留物或未知位置的污染物，因?yàn)樗鼈冊诳梢姽庾V域中并不總是可見的。
深圳電商代理及優(yōu)勢品牌
SAKAGUCHI坂口電熱、AND艾安德、 NIPPON MUKI無機(jī)、NITTO KOHKI日東工器、CCS晰寫速、伊藤制造所，二宮電線
CKD喜開理 ，sigma西格瑪，DAICO大浩研熱、今尾IMAO，NBK 鍋屋，kyowa共和，TACO山武，F(xiàn)INTECH， SANKO三高
FREEBEAR福力百亞、MITUTOYO三豐，SUIDEN瑞電、SUGIYAMA杉山電機(jī) ，IMAO今尾、ONOSOKKI小野、REVOX萊寶克斯
EYELA東京理化、SIBATA柴田科學(xué)、TOHNICHI東日、千代田CHIYODA、KOYO, SEN日森、
主要合作客戶
關(guān)西涂料(ALESCO)、歐菲科技(0-film)、泰晶科技(TKD)、中芯國際(SMIC),京東方(BOE),華星光電(CSOT),天馬(TIANMA),柔宇(ROYOLE)
豐田(TOYOTA)，SUZUKI(鈴木)，比亞迪(BYD),大疆(DI)，艾華集團(tuán)(AISHI)，駿馬精密(ZAMA)三一重工(SANY),中聯(lián)重科(ZOOMLION)
住友集團(tuán)（sumitomo），華為（Huawei）徐工集團(tuán)，大長江集團(tuán)，揚(yáng)力集團(tuán)，太陽誘電，華天科技，大冶摩托，正泰集團(tuán)，
電商集團(tuán)在消費(fèi)者當(dāng)中享有較高的地位，公司與多家零售商和代理商建立了長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。歡迎咨詢
深圳電商商業(yè)股份有限公司會恪守“誠信、品質(zhì)、快速、貼心”的服務(wù)宗旨，不斷提升專業(yè)的技術(shù)服務(wù)水平，與客戶及供應(yīng)商實(shí)現(xiàn)共同發(fā)展
通過減少中間環(huán)節(jié)，并提供便利的配送服務(wù)，將實(shí)惠和安心送到每一個客戶的手中。
光學(xué)光刻是用于制造集成電路的一種工藝。首先，將一種感光材料（稱為光刻膠）涂到基板上。然后將包含所需圖案的光掩模放置在光刻膠上方，光線穿過光掩模，暴露光刻膠的特定區(qū)域。這些暴露的區(qū)域會發(fā)生化學(xué)變化，在顯影液中可溶或不溶。顯影后，圖案通過蝕刻、化學(xué)氣相沉積或離子注入轉(zhuǎn)移到基板上。
一旦結(jié)構(gòu)被蝕刻或沉積在晶圓上，去除光刻膠并徹底清潔晶圓至關(guān)重要。此清潔過程通常分為三個不同的階段。首先，剝離光刻膠。隨后，使用專門的化學(xué)清潔方法消除晶圓表面上的任何殘留物。*后，對表面進(jìn)行細(xì)致的清潔和鈍化，為后續(xù)處理步驟做好準(zhǔn)備。
如果晶圓在后續(xù)光刻工藝之前仍含有光刻膠，則可能會出現(xiàn)幾個問題。殘留的光刻膠會導(dǎo)致后續(xù)光刻步驟中圖案轉(zhuǎn)移不準(zhǔn)確，從而導(dǎo)致晶圓上的電路或特征出現(xiàn)缺陷。不干凈的晶圓會引入污染物，干擾材料沉積、蝕刻工藝或其他制造步驟，可能導(dǎo)致設(shè)備性能不佳或故障。此外，受污染或清潔不當(dāng)?shù)木A會增加缺陷率，降低生產(chǎn)批次中1功能集成電路的總產(chǎn)量。
需要一種成像方法來檢測清潔過程中 API 薄膜的殘留物或未知位置的污染物，因?yàn)樗鼈冊诳梢姽庾V域中并不總是可見的。
SAKAGUCHI坂口電熱、AND艾安德、 NIPPON MUKI無機(jī)、NITTO KOHKI日東工器、CCS晰寫速、伊藤制造所，二宮電線
CKD喜開理 ，sigma西格瑪，DAICO大浩研熱、今尾IMAO，NBK 鍋屋，kyowa共和，TACO山武，F(xiàn)INTECH， SANKO三高
FREEBEAR福力百亞、MITUTOYO三豐，SUIDEN瑞電、SUGIYAMA杉山電機(jī) ，IMAO今尾、ONOSOKKI小野、REVOX萊寶克斯
EYELA東京理化、SIBATA柴田科學(xué)、TOHNICHI東日、千代田CHIYODA、KOYO, SEN日森、
主要合作客戶
關(guān)西涂料(ALESCO)、歐菲科技(0-film)、泰晶科技(TKD)、中芯國際(SMIC),京東方(BOE),華星光電(CSOT),天馬(TIANMA),柔宇(ROYOLE)
豐田(TOYOTA)，SUZUKI(鈴木)，比亞迪(BYD),大疆(DI)，艾華集團(tuán)(AISHI)，駿馬精密(ZAMA)三一重工(SANY),中聯(lián)重科(ZOOMLION)
住友集團(tuán)（sumitomo），華為（Huawei）徐工集團(tuán)，大長江集團(tuán)，揚(yáng)力集團(tuán)，太陽誘電，華天科技，大冶摩托，正泰集團(tuán)，
電商集團(tuán)在消費(fèi)者當(dāng)中享有較高的地位，公司與多家零售商和代理商建立了長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。歡迎咨詢
深圳電商商業(yè)股份有限公司會恪守“誠信、品質(zhì)、快速、貼心”的服務(wù)宗旨，不斷提升專業(yè)的技術(shù)服務(wù)水平，與客戶及供應(yīng)商實(shí)現(xiàn)共同發(fā)展
通過減少中間環(huán)節(jié)，并提供便利的配送服務(wù)，將實(shí)惠和安心送到每一個客戶的手中。
深圳電商商業(yè)股份有限公司
2025/4/27
